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什麽是能量色散X射（shè）線熒光光譜儀

返回列表 來源：發布日期： 2025.05.15

能量色散X射線熒光光譜儀由X射線光管、樣品室、準直器（qì）、探測（cè）器及技術電路和計算機組成。此外，亦可在樣品前加一單色器，達到降低背景（jǐng）的目的，以改善色散（sàn）X射線熒光光譜儀的檢出限。它與波長色散X射線熒光光譜儀（yí）的顯著不同是分光晶體，而是直接用能（néng）量（liàng）探測（cè）器來分（fèn）辨特征譜線，達到定性和定（dìng）量分析的目（mù）的。

如圖：

能量色散X射線熒（yíng）光光譜儀

德國斯（sī）派克手持光譜儀

當樣品中待測元素的（de）特征射線進入能量探測器時，既（jì）會產生電子孔穴對，其數量正比於入射光（guāng）子的能量，經過（guò）前（qián）置放大（dà）器，產生典雅脈衝。由於前（qián）方產生的信號幅度小，信噪比低，需要（yào）慢脈衝成型放大器將（jiāng）其放大，並采用濾波器壓製極低和極高的高頻信號，改善信噪比，提高（gāo）分辨（biàn）率。

在能（néng）量探測過程中，多道分析器起著模（mó）數轉換的重要（yào）作用。多（duō）道分析器的作用是測量每一放大器的（de）脈衝輸出高度（dù），按積分方式對脈高分類計數，完成模擬信號向數字信號的轉換，形成脈（mò）衝高度光譜。在多道分析器中，首先利用模數轉換器甄別脈衝信號的高度（能量），並按其能量分（fèn）類以一定能量間隔作為X軸（zhóu）（道），統計在該能量間隔內的脈衝數，得到相應能量的技術，並作為Y軸。從而獲得我們熟知的每道能量間隔的光子計數（shù）。

由於放大器和多道分析器均需要一定的時間進行信息的處理和係統的重置與恢複，在此期間（jiān）無法接（jiē）受新的脈衝信號，故會產生係統死時間。當計數率高的時候，兩個X射線光子（zǐ）在放大器輸出脈衝寬度內同時達到探測器的機率很高，這時會出現脈衝堆積，兩個脈衝不能被分辨（biàn），脈衝發生畸變。故在多道分析器中（zhōng），通常都會配（pèi）置死時間校正和抗脈衝堆積電路來克服這兩個問題。

此外，在能量色散XRF光譜儀中采用充He氣條件時，應小心，因為He可能穿透過較薄的探測器Be窗（chuāng），損害探測器的低溫真空係統。